BCT-400 少子寿命测试仪
Sinton BCT-400 少子寿命测量仪
是基于涡流传感器和红外光致光电导方法直接测量单晶或者多晶硅棒体少子寿命的设备,具有瞬态和准稳态两种测量模式。该设备可探测3mm 深度范围少子寿命,并能输出不同载流子注入水平下的少子寿命值,可实现低电阻率硅单晶少子寿命测量,并能通过软件端光强偏置实现单晶缺陷密度计算。
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少子寿命测试仪(Minority Carrier Lifetime Tester)是一种用于测量半导体材料(尤其是硅材料)中少数载流子寿命(Minority Carrier Lifetime)的关键设备。它是半导体、光伏(太阳能电池)和微电子行业中进行材料质量评估、工艺监控和产品研发的重要工具。
在半导体中:
少子寿命是指少数载流子从产生到复合(消失)的平均时间。它直接反映了半导体材料的晶体质量和电学性能:
少子寿命测试仪通过特定方法(如光照或电脉冲)激发产生少数载流子,然后测量其衰减过程,从而计算出寿命值。
| 方法 | 原理 | 特点 |
|---|---|---|
| 微波光电导衰减法 (µ-PCD) | 用激光脉冲照射样品产生载流子,通过微波反射变化测量电导率衰减,推算寿命。 | 非接触、快速、可 mapping(面扫描),适合产线。 |
| 表面光电压法 (SPV) | 测量光照后材料表面电势的变化。 | 适用于薄膜材料,非接触。 |
| 准稳态光电导法 (QSSPC) | 施加准稳态光照,测量光电导。 | 精度高,常用于实验室和高效电池研发。 |
| 光束诱导电流法 (LBIC) | 扫描激光束,测量产生的电流。 | 可进行高分辨率成像,用于缺陷定位。 |
光伏产业(太阳能电池):
半导体材料研究:
质量控制与来料检验: