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单晶炉

单晶炉是软轴提拉型晶体生长设备,在低于常压的惰性气体环境中,以石墨电阻加热器加热,将填充在石英坩埚内的多晶硅材料熔化,用直拉法生长无位错的高质量单晶设备。目前可生产 CZ160 型及以上单晶炉设备。 防护设施 液面检测、掉棒保护等系统功能炉盖护板、管道防爆护板、水冷屏泄压阀等安全配置 可选配置 集中监控方面,方便 CCD 巡检,WEB 可视化生产看板,可根据客户要求订制。
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NVT-HG2200-V1 单晶炉

NVT-HG2200-V1主要应用于光伏产业8-12英寸单晶硅制备工艺,该机台具有大投料量,高拉速,低能耗,自动化、智能化的优点。系统主要由籽晶升降/旋转系统、坩埚升降/旋转系统、热屏升降系统及电控系统组成。
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