OCT扫描系统

振镜扫描器 控制光束横向X/Y轴扫描，实现二维/三维成像 扫描角度±15°，扫描速率10kHz-100kHz，重复定位精度<10μrad 通用型OCT、眼科OCT、工业检测OCT 最常用扫描部件

MEMS扫描镜 微型化扫描部件，用于小型化OCT设备，实现高速高精度扫描 扫描角度±10°，扫描速率>100kHz，尺寸<5mm×5mm，驱动电压<5V 便携OCT、内窥OCT、手持OCT 体积小、功耗低、速度快

扫描透镜 配合振镜实现远心扫描，确保扫描范围内光斑均匀 扫描范围1-50mm，焦距10-100mm，畸变<0.1%，远心度<1° 所有类型OCT设备 分f-theta和远心扫描透镜

高精度位移台 实现样品轴向/横向位移，用于大范围样品拼接成像 行程10-100mm，定位精度<1μm，重复定位精度<0.5μm 工业检测OCT、大尺寸样品成像OCT 分电动和手动两种