OCT 用振镜Galvo Scanner
OCT 用振镜(Galvo Scanner)核心是高速、低漂移、小光斑、近红外高反膜、双轴(X/Y),用来做光束二维扫描,实现眼底 / 生物组织 / 工业样品的断层成像
一、OCT 振镜核心要求(必看)
1. 光学参数(决定成像质量)
- 波长:OCT 常用 840 nm(眼科)/930 nm(生物)/1060 nm(深穿透),必须选对应波段高反膜(银 / 金 / 介质膜),反射率 > 98%。
- 孔径:3–5 mm(最常用);光束直径≤孔径的 70%,避免边缘衍射。
- 平面度:λ/10@633 nm,表面质量 <20/10,否则横向分辨率变差。
- 扫描角度:机械角 ±5°~±10°;光学角 = 2× 机械角,覆盖 FOV 3–10 mm(配合物镜)。
2. 机械 / 动态参数(决定速度与稳定性)
- 扫描频率:
- 快轴(X,B-scan):200–800 Hz(常用 400 Hz)。
- 慢轴(Y,C-scan):10–100 Hz。
- 重复定位精度:±0.5–1 μrad(成像漂移 < 1 μm)。
- 线性度:>99.5%,否则图像畸变。
- 响应时间:<1 ms,无过冲 / 振铃。
- 散热:低阻线圈,连续工作温升 < 15℃(OCT 长时间扫描)。
3. 控制与接口
- 双轴(X/Y)独立驱动,模拟 ±10 V或 ** 数字(RS232/EtherCAT)** 控制。
- 同步触发:A-scan 时钟(20–200 kHz)与振镜扫描同步。