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设备名称 功能描述 接触式光刻机 对光刻胶进行紫外曝光、标记对刻套刻、支持双面套刻 光学镀膜机台 沉积激光器端面增透、反镀膜/光学元件的光学膜 电子束光刻系统 支持2/4/6/8英寸晶元及散片，最小线宽8nm PEVCD 介质膜的沉积（SiOx，SiNx） RIE 介质膜的刻蚀（SiOx，SiNx） ICP Si、III-V族材料、铌酸锂等的刻蚀 解理机 III-V材料晶圆的划片与裂片 磁控溅射镀膜仪 致密金属膜沉积 电子束蒸发台 金属膜沉积、电极制作 设备名称 功能描述 双束电镜 微观表面及纵深结构的高精密表征、元素成分测量、芯片失效分析、TEM样品制备、超构材料器件制备 快速退火炉 高温退火处理 等离子清洗机 样品表面有机物清洗、去胶 减薄抛光机 晶圆厚度的减薄及表面平平滑抛光 高倍数码显微镜 光学显微、表面表征 台阶仪 表征台阶结构垂直高度 膜厚仪 表征薄膜厚度 三维轮廓仪 检测晶圆表面平滑度 半自动贴片机 高精度芯片对准贴装

在太阳能电池性能的检测与维护中，探针作为测试机的核心部件，扮演着举足轻重的角色。本文将详细阐述太阳能电池测试机探针的种类、使用方法以及工作原理，旨在帮助读者更好地理解和应用这一关键技术。

少子寿命测试仪

1.是否需要2D或者3D 相机辅助探针定位？ 有相机可以自动定位和下针节约大量的工程师时间，我们的90%客户会选择包含相机的定位的功能 2.要测的栅线间距多少？ 我们提供的探头范围如下 低于1.0mm按客户要求定制固定间距探头。其它范围间距探头如下： 1.0-1.2mm 1.2-1.8mm 1.8-2.4mm 2.4-3.0mm 3.是否需要四探针功能？ 如果客户已经有四探针了，我们一般不建议客户购买，用四探针功能需要更换探头和测试台，大概需要15分钟时间。另外需要增加8000欧元的成本。

半导体可靠性测试中使用的TLM（传输线测量）法，是一种专门用于精确表征和监控金属电极与半导体材料之间“欧姆接触”质量的关键技术。它的核心是通过测量一组不同间距的接触电阻，来分离并计算出“接触电阻”和半导体材料的“方块电阻”，从而判断接触性能是否退化。 这对于可靠性测试至关重要，因为欧姆接触的劣化（如金属扩散、界面反应）是器件长期失效的主要原因之一。

客户有一台二手 CDE 178闲置 状态良好 ResMap Four Point Probe Manual load “baby” Wafer size: 2”-8” Manual load Max round sample: 8.2” φ , Max square sample:5.8”x5.8” Maximum throughput: 1min/wafer, (49pints) MeasurementRange - 1m to 10M Accuracy 0.5% 0.02% static, 0.1% dynamic Measurement unit size: 12”W x 10”H x 18”D Full functional unit Included: Measurement unit, computer, Keyboard/mouse,monitor. OEM 代工型號說明 The CDE ResMap 178 is a precision instrument for measuring the sheet resistivity of a conductive media (metal and semiconductor applications). It is a table top model with manual wafer load and can measure wafer sizes from 2” to 8”. It has become an industry standard for cost effective resistivity measurement. The CDE ResMap 178 has an accuracy of 0.5% and a repeatability of 0.02% static and 0.1% dynamic. The CDE ResMap 178 has a resistivity range of 2mOhm/Square to 5MOhm/square. The CDE ResMap 178 has a maximum throughput of 1 minute per wafer (49 sites).

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光纤接头以及设计

太阳模拟器（Solar Simulator）本身是一种用于模拟太阳光谱、辐照度和空间均匀性的测试设备，主要用于光伏（PV）器件（如太阳能电池）的研发和性能评估。为了对太阳模拟器进行校准、验证或利用其进行完整的光伏测试，通常还需要以下配套的测试设备： 一、 校准与验证太阳模拟器性能所需设备 标准太阳电池 (Reference Solar Cell) 作用：经过国际权威机构（如NREL、AIST、PMG等）标定，用于精确测量太阳模拟器的辐照度（通常为1000 W/m²，AM1.5G条件）。 类型：需与待测器件光谱响应匹配（如单晶硅、多晶硅、非晶硅、GaAs、钙钛矿等）。 光谱仪 (Spectroradiometer) 作用：测量太阳模拟器输出光的光谱分布，验证其是否符合IEC 60904-9等标准规定的光谱匹配等级（A、B、C级）。 积分球 (Integrating Sphere) + 光谱仪（可选，用于高精度测量） 作用：与光谱仪配合，更准确地测量光源的总辐照度和光谱，尤其适用于脉冲式或不均匀光源。 数据采集系统 (Data Acquisition System, DAQ) 作用：连接标准电池和测量仪表，自动记录辐照度、时间稳定性等数据。 空间均匀性测试板或扫描系统 作用：通过移动标准电池或使用阵列式传感器，在测试平面上多个点位测量辐照度，以评估太阳模拟器的空间光强均匀性（IEC等级A/B/C）。 时间稳定性监测设备 作用：使用快速响应探测器和示波器或高速DAQ，监测光源在短时间内（如几秒到几分钟）的辐照度波动，评估瞬时稳定性（Short-term Instability, STI）和长期稳定性（Long-term Instability, LTI）。 二、 利用太阳模拟器测试光伏器件所需设备 源表 (Source Measure Unit, SMU) 或数字源表 (如 Keithley 2400/2600系列) 作用：向待测太阳能电池施加偏置电压或电流，并精确测量其产生的电流和电压，绘制I-V曲线。 I-V 测试系统 (IV Tester) 作用：集成化的系统，通常包含SMU、开关矩阵、软件控制，用于自动化测量光伏器件的I-V特性。 探针台 (Probe Station)（用于晶圆级或小尺寸器件） 作用：提供精密的电接触，将SMU连接到小型或未封装的太阳能电池上。 四探针台或夹具（用于电池片或组件） 作用：确保良好的电接触，减少测量误差。 温度控制平台 (Temperature Stage) 作用：保持待测器件在标准测试条件（STC，25°C）下进行测量，因为温度对光伏性能影响显著。 计算机与专用测试软件 作用：控制SMU、采集I-V数据、计算关键参数（如Pmax, Voc, Isc, FF, η）、生成报告。 快门 (Shutter) 作用：控制光照的开启与关闭，用于测量暗I-V曲线或进行重复性测试。 总结 一个完整的太阳模拟器测试系统不仅包括模拟器主机，还需要： 标准电池 和 光谱仪 来保证光源质量； 源表 (SMU) 和 测试夹具 来测量器件性能； 温度控制 和 数据采集系统 来确保测量的准确性与可重复性。 根据您的具体应用（研发、质检、教学等），所需的设备配置会有所不同。