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德国WEP公司的CVP21电化学C-V剖面浓度测试仪可高效、准确的测量半导体材料（结构，层）中的掺杂浓度分布。选用合适的电解液与材料接触、腐蚀，从而得到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制。 电化学ECV剖面浓度测试仪主要用于半导体材料的研究及开发，其原理是使用电化学电容-电压法来测量半导体材料的掺杂浓度分布。电化学ECV(CV-Profiler, C-V Profiler)也是分析或发展半导体光-电化学湿法蚀刻(PEC Etching)很好的选择。CVP21电化学C-V剖面浓度测量仪适用于评估和控制在半导体生产中的外延过程并且以被使用在多种不同的材料上，例如：硅、锗、III-V族化合物半导体(如GaN)。

接触电阻率和薄层电阻 TLM-SCAN+ 接触电阻率和薄层电阻 TLM-SCAN+ 前金属化的接触电阻是对丝网印刷太阳能电池的总串联电阻的重要贡献。 具有合适测试结构的转移长度方法是将接触电阻与其他串联电阻效应分开的最佳方法。 然而，接触电阻可以在太阳能电池上显着变化，因此需要在成品太阳能电池上以空间分辨率测量它的方法。 TLM-SCAN产生太阳能电池的接触电阻率的映射，该太阳能电池用激光或切割锯切割成条纹。 右侧的映射显示了分辨率和可重复性，因为它显示了14次测量的相同条带。 接触电阻率测量仪 这款紧凑型仪器测量成品太阳能电池的接触电阻率，手指线电阻，手指宽度和手指高度，或者测试结构。 通过在所有轴上电动化，可以通过按一个按钮来创建所有这些方法的地图。 用于测量薄扩散层的薄层电阻和晶圆电阻率的四点探头，使得TLM-SCAN 成为一种低成本，快速，高质量的四点探针贴图仪。 使操作更简单的功能： 自动位置校正以获得最佳接触质量 盖子关闭时自动启动 自动采样编号 软件探头识别 精确的导航与欢乐棒和显微镜相机 通过点击图像来探测定位和重新测量单点 一个样品上多个TLM测试图案的批处理模式 序列模式通过按一个按钮来测量接触电阻率和手指几何图形的映射

太阳能电池设施产量提升和性能改进的“黄金标准”工具 LIS-R3 是一款用于硅锭、晶圆、电池和微型模块样品的先进表征工具。针对TOPCon、PERC、HJT等电池工艺，是多年研发、不断改进的结果。最近的升级包括与 24 个母线样本的兼容性、新的 SMU 和 BC 电池测量。它是主要太阳能生产商和世界领先研究机构使用的重要工具。主要应用包括流程改进、研发、流程调试和根本原因分析、质量保证和质量控制。 LIS-R3 提供 BT Imaging 专有的光致发光技术以及串联电阻成像、电致发光成像、Suns-Voc、暗和光 IV 测量、带有隐含 IV 参数的高级cell分析、cell前部和整体分离估计、QSS-PC 注入水平相关寿命、校准寿命成像等等。