反射式数字全息显微镜DHM-R

反射式数字全息显微镜(DHM-R)，非扫描非接触无损测量，显示静态和动态三维形貌，表征周期振动。

DHM使用便利，除了科研应用，得益于其高图像采集率，DHM还能作为常规快速检测装备适用于工业自动质量检测。

反射式数字全息显微镜DHM-R拥有三种型号， 主要区别在于不同的激光源数量：

• R1000型配备单激光源， 是测量平滑表面和振动的理想工具。
• R2100型配备可以同时使用的双激光源， 在测量复杂表面和非连续结构时更有优势。
• R2200型是在R2100型基础上扩展了第三个激光源， 增加测量范围的同时， 也增添了针对半透明薄膜结构的测量能力。

反射式DHM®兼容所有可选配件：包括频闪模块、后期分析软件MEMS analysis tool 和Reflectometry analysis tool。每个DHM®可以灵活选择装配模式，例如装配在默认结构台，或者只选择DHM®探测头，之后可以集成在其他设备或者生产线上。DHM®兼容多种电动样品台。

• 样品台：手动或电动XYZ样品台，最大移动范围300mmx300mmx38mm
• 物镜：放大倍数1.25x至100x，多种物镜可选、水镜、油镜等
• 物镜台：6口旋转物镜台
• 专用软件：Koala专用数据采集分析软件，专用分析软件供不同应用分析
• 数据格式：多种保存格式
• 最小可测样品反射率：低于1%
• 样品照明：最低1μW/cm2
• 频闪模块：适用于单光源和双光源模式
• 垂直校准：由干涉滤光片决定，范围±0.1nm
• 图像采集时间：标准500μs (最快可选10μs)
• 图像采集速率：标准30帧/秒(1024x1024 像素)(最快可选 1000 帧/秒)
• 实时重建速率：标准25帧/秒(1024 x 1024 像素)(最快可选 100 帧/秒)
• 横向分辨率：由所选物镜决定，最大300nm
• 视场：由所选物镜决定，范围从66μmx66μm至5mmx5mm
• 工作距：由所选物镜决定，范围从0.3至18mm
• 数码聚焦范围：最高50倍于景深(由所选物镜决定)

超高速记录动态三维形貌

DHM采用非扫描机制，采集单帧图像既能记录样品表面三维形貌，因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用标准相机采集速度为视频速率30帧/秒，而高速相机可以达到1000帧/秒， 使得以下应用变为可能：

• 研究可形变样品三维动态响应
• 表面大区域扫描分析
• 高产量常规检测
• 生产线在线三维形貌捕捉

多种可控环境下测量

独特的光学原理和光路设计使得DHM能够满足使用者在各种环境下的测量需求，提供灵活和便利的测量体验：

• 透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液
• 观测环境控制箱或真空腔内部样品， 可改变环境参数，比如温度、湿度、气压、气体成分等

MEMS测振分析，最高可达25 MHz

频闪模块(可选配件)可同步DHM测量时激光脉冲与MEMS器件的激励信号，获取振动周期内的全视场振动模态。这些特有的分析数据可提供以下信息：

• 三维形貌时序图
• 频率共振分析和响应分析
• 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm，面外振幅测量精度5pm)
• 复杂运动表征， 振动模态表征， 样品动态三维形貌

测量透明样品三维形貌

得益于DHM® 多激光源配置， 通过专用反射分析软件(可选配件)可以表征透明薄膜样品， 包括：

• 透明结构表面形貌
• 多层透明薄膜组成结构的厚度、折射率，测量范围可从10纳米至几十微米
• 柔性材料或是液体的形貌