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用于 125 毫米、156 毫米至 230 毫米太阳能晶片的 OEM 集成式厚度和电阻率测量仪。 MX152/153 是一种在线模块，适用于皮带传送的硅片。它可在自动化生产流程之间测量厚度、平面度（TTV），也可选择测量电阻率和 P/N 值。由测量模块、电子支架和控制计算机组成。测量值将通过以太网和 TCP/IP 传输到主机。

Up to 8″ ResMap 178

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非接触式晶圆电阻率，厚度和P/N测量仪 MX60x 系列用来测量硅片和其他材料的电阻率或表面电阻。