激光尘埃粒子计数器
激光尘埃粒子计数器(Laser Particle Counter,LPC)是基于光散射原理的精密仪器,用于检测洁净环境中尘埃粒子的数量、粒径分布及浓度,广泛应用于光伏电池生产车间、半导体洁净室、医药 GMP 车间、实验室等场景。
一、 核心工作原理
当激光束照射到空气中的尘埃粒子时,粒子会产生光散射效应,散射光的强度与粒子的粒径成正比。仪器通过光电探测器捕捉散射光信号,经信号放大、分析处理后,换算出粒子的粒径大小和数量,最终输出不同粒径区间的粒子浓度数据(如≥0.3μm、≥0.5μm、≥5μm 等)。
二、 关键技术参数(选型核心指标)
| 参数类别 | 核心指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 粒径范围 | 0.3μm–10μm(常规) | 光伏 / 半导体车间需重点关注 0.3μm、0.5μm 粒径(对芯片、光伏电池片良率影响最大) |
| 采样流量 | 28.3L/min、100L/min、500L/min | 流量越大,检测效率越高;洁净室认证常用 28.3L/min(1ft³/min) |
| 计数效率 | 50%@0.3μm,100%@0.5μm | 符合国际标准 ISO 14644-1、GB/T 16292 要求 |
| 显示与存储 | 彩色触摸屏、数据存储容量 | 支持导出数据至电脑,生成洁净度等级报告 |
| 校准要求 | 第三方校准证书 | 需定期校准(通常 1 年 1 次),确保检测精度 |
| 环境适应性 | 工作温度、湿度 | 工业级设备适应 0–50℃、10%–90%R |