LPS-XD-20 激光等离子光源
随着高通量检测与纳米级成像对亮度和光谱纯度的要求突破传统极限,基于激光维持等 离子体(LSP)技术的激光等离子光源应运而生。它摒弃电极放电模式,采用高能连续激光 聚焦于高压氙气中,形成万开尔文级高温等离子体。激光实现“无电极”能量注入,彻底解 决电极烧蚀导致的寿命瓶颈,同时获得从深紫外(DUV)到近红外的连续超高亮度输出,辐 射强度媲美甚至超越太阳表面。 激光等离子光源兼具长寿命、优异稳定性和宽谱段优势,正推动半导体缺陷检测、高分 辨率光谱学、荧光显微成像与计量学等前沿领域实现代际升级。通过精准调控激光功率与气 体环境,激光等离子光源已成为下一代高性能光学系统的核心光源。
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