GP120 Graphite purification furnace

高纯石墨主要应用于半导体等对石墨杂质要求非常苛刻的领域，北方华创真空研发采用化学净化法，在高温下，利用化学气体对石墨进行净化的设备与工艺，纯化后的石墨总灰分可达到5ppm。