MX 152/153 OEM 集成式厚度和电阻率测量仪 用于 125 毫米、156 毫米至 230 毫米太阳能晶片的 OEM 集成式厚度和电阻率测量仪。 MX152/153 是一种在线模块,适用于皮带传送的硅片。它可在自动化生产流程之间测量厚度、平面度(TTV),也可选择测量电阻率和 P/N 值。由测量模块、电子支架和控制计算机组成。测量值将通过以太网和 TCP/IP 传输到主机。 Manufacturer: E+H Metrology Call for pricing Qty: Add to cart Custom wishlist OK Add to wishlist Add to compare list Email a friend 应用 用于 125 毫米、156 毫米至 230 毫米太阳能晶片的 OEM 集成式厚度和电阻率测量仪。 MX152/153 是一种在线模块,适用于皮带传送的硅片。它可在自动化生产流程之间测量厚度、平面度(TTV),也可选择测量电阻率和 P/N 值。由测量模块、电子支架和控制计算机组成。测量值将通过以太网和 TCP/IP 传输到主机。 测量类型 厚度 平整度(TTV) 电阻率 P/N 注释 特点 晶片尺寸 125x125 毫米和 156x156 毫米,最大 230 毫米 精度 ±0.5µm 分辨率 0.1 微米 厚度范围 100 - 300 微米 软件 EHMaster Product tags 厚度 (3) , 电阻率 (3) , 平整度(TTV (1)