iGrapher 大型紫外直写光刻系统 iGrapher 大型紫外直写光刻系统 Call for pricing Qty: Add to cart Custom wishlist OK Add to wishlist Add to compare list Email a friend 技术特点 采用DPSSL 355nm光源 支持8-130英寸幅面 超高精密系统 高精度环控系统 主动式隔振系统 高精度气浮运动平台 高速图形化 频闪平铺光斑曝光 3D导航自动聚焦 规格参数 应用示例
