全自动薄层电阻测量系统 RS-300-AUTO RS 系列是一种独特的接触式和非接触式电阻率（薄层电阻）测量设备，可轻松创建映射测量并自动精确测量薄层电阻。 RS-300-AUTO 基于 Macro 4 point probe (total tip width: 4.2mm) , Middle size 4 point probe(Width 300㎛, 600 ㎛ ) 和模式识别视觉系统，可实现更精确的局部区域 RS 测量。 一种简单且具有成本效益的薄膜测量设备，可以通过薄层电阻测量来评估薄膜的厚度和薄膜的电性能，从而全面管理过程。 RS-300-AUTO 是为先进的晶圆 FAB 工艺开发的，是业界性能最高的在线测量设备。 RS-300-AUTO 提供以SEMI规范为标准的多点映射模式，用户可以任意创建多点配方映射。 此外，可通过可选的视觉模式匹配功能进行更精确的测量，从材料加载到测量卸载可在 120 秒内进行测量。它可以用于硅、EPI、金属、离子注入、扩散工艺等各种领域。 SKU: RS-300-AUTO Call for pricing Qty: Add to cart Custom wishlist OK Add to wishlist Add to compare list Email a friend RS 系列是一种独特的接触式和非接触式电阻率（薄层电阻）测量设备，可轻松创建映射测量并自动精确测量薄层电阻。RS-300-AUTO 基于 Macro 4 point probe (total tip width: 4.2mm) , Middle size 4 point probe(Width 300㎛, 600 ㎛ ) 和模式识别视觉系统，可实现更精确的局部区域 RS 测量。一种简单且具有成本效益的薄膜测量设备，可以通过薄层电阻测量来评估薄膜的厚度和薄膜的电性能，从而全面管理过程。RS-300-AUTO 是为先进的晶圆 FAB 工艺开发的，是业界性能最高的在线测量设备。RS-300-AUTO 提供以SEMI规范为标准的多点映射模式，用户可以任意创建多点配方映射。此外，可通过可选的视觉模式匹配功能进行更精确的测量，从材料加载到测量卸载可在 120 秒内进行测量。它可以用于硅、EPI、金属、离子注入、扩散工艺等各种领域。
