单晶炉

单晶炉是软轴提拉型晶体生长设备，在低于常压的惰性气体环境中，以石墨电阻加热器加热，将填充在石英坩埚内的多晶硅材料熔化，用直拉法生长无位错的高质量单晶设备。目前可生产 CZ160 型及以上单晶炉设备。防护设施液面检测、掉棒保护等系统功能炉盖护板、管道防爆护板、水冷屏泄压阀等安全配置可选配置集中监控方面，方便 CCD 巡检，WEB 可视化生产看板，可根据客户要求订制。

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