什么是表面电阻 Rs（方阻，Sheet Resistance）
表面电阻（Sheet Resistance）
很多行业都会用到片状材料、晶圆、显示面板、金属板材或者金属镀膜类导电材料。
在这类应用场景中，被测样品的整体电阻值或者电阻率并不是关键指标。需要重点关注的内容如下：
- 测量材料纵深方向（深度 / Z 轴方向）的阻抗。对于使用人员来说，核心关注的是被测样品上某一测点的电阻率，而非样品整体的阻抗。
- 片状材料的阻抗，无论样品是什么形状、尺寸大小如何，都由材料厚度与电阻率共同决定，和材料的表面积没有关系。
针对这类片状材料的检测，人们定义了 ** 表面电阻 Rs（Sheet Resistance，简称方阻）** 这一检测参数。表面电阻属于材料本身的电学性能参数，和样品在 XY 平面上的长宽尺寸无关。
表面电阻（Rs）的计算公式为电阻率（ρ）除以材料厚度（t），即：Rs=ρ/t
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