CVI330 化学气相沉积炉

化学气相渗透注入工艺(CVI)是化学气相沉积(CVD)法的一种延伸，是指将一种或几种烃类气体化合物经高温分解、缩聚之后炭沉积在多孔介质内部，使材料致密化的方法，是新发展起来的制备无机材料新技术，该技术主要用于制备各种高温陶瓷基复合材料，包括碳/碳复合材料和以碳化物、氮化物为基质的材料，CVI设备主要应用于光伏辅材的碳纤维气体沉积。

设备特点

• 多区控温，更优温度均匀性，可拓宽客户工艺需求
• 模块化保温设计，具有较低的保温功率，降低能耗，助于发展低碳经济
• 通过模拟分析，设计合理的碳源分配系统，可满足客户多种产品工艺要求
• 自动内外室压差控制系统，提升设备可靠性，延长热区使用寿命
• 更优的快冷系统设计，冷却效率更高，提高生产效率
• 多级冷凝和过滤装置，提高设备稳定性

技术指标

• 温度范围

  ≤1160℃
• 有效区

  Φ3300×3800mm
• 温度均匀性

  ≤±10℃
• 分压

  1000~10000Pa
• 压升率

  50Pa/h
• 连续运行时间

  ≥350h