用于研发和生产监控的灵活映射工具
HR-SPSmap产品平台基于广受赞誉的MDPmap系列的成熟基础。这款紧凑型、桌面、非接触式电气表征工具专为离线生产控制和研发应用设计。它测量覆盖较宽的注入范围的表面光电压（SPV），同时兼容稳态和短脉冲激发。通过自动样品识别和参数设置，它能够轻松适应各种样品，包括不同加工阶段的外延层和晶圆，从生长材料到全制器件。
卓越的灵活性和先进的功能
HR-SPSmap的一个突出优势是其卓越的灵活性。系统配备固定能量激发源，支持测量头内集成最多四枚激光器。该能力促进了从极低到高注入水平的广泛范围内的注射水平依赖性光伏测量，并支持使用不同激光波长进行深度剖面。系统还包含偏置灯功能，以增强测量选项。
此外，HR-SPSmap支持自定义计算和映射配置，并能够导出主要数据以供详细外部分析。对于标准计量任务，平台提供预定义的配方系统，允许按一个按钮完成常规测量。
释放精准与适应性
凭借其先进的功能和用户友好的设计，HR-SPS是研究人员和生产团队寻求高精度表面光电压测量的理想解决方案。无论是研发创新还是可靠的生产监控，该平台都重新定义了电气表征的灵活性与效率。
