在线非接触式发射极片电阻测量 DM-110h 在全生产速度下准确可靠地在线测量发射极片电阻。该传感器使用安全的反射红外光对晶体硅片上的发射极片电阻进行高分辨率 表征。 制造商: Aurora Solar Technologies 商品库存单位（SKU）: DM-110h 电话报价 数量: 加入购物车 wishlist.addcustomwishlist 完成 加入收藏夹 商品比较 邮件给朋友 代表性测量模式 描述 DM-110h 测量晶体硅光伏 （PV） 晶圆内的发射极片电阻。这种创新产品是业界最准确、最可靠的非接触式测量工具，可表征扩散和退火过程结果。它快速对每个晶圆上的离散点模式进行测量，如自动晶圆处理系统所呈现的那样。其专利技术为过程控制和优化提供了准确的实时测量。 该系统与 Aurora 的 Visualize™ 质量控制系统和熔炉自动化集成，以将测量值与每批晶圆位置保持一致。这提供了炉
