原子沉积技术仪
原子沉积技术仪
AT-410
規格：
产品叙述
水平与垂直流整合，镀膜均匀度高
_体积小且规范 _静置功能，提高样品覆盖率
_触控式介面与自动化程序 _即时监控流程
_内建食谱与使用者自建最广泛的材料使用
•3 organometallic sources
•2 oxidant/reductant sources
•Built-in recipes, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO
产品叙述
水平与垂直流整合，镀膜均匀度高
_体积小且规范 _静置功能，提高样品覆盖率
_触控式介面与自动化程序 _即时监控流程
_内建食谱与使用者自建最广泛的材料使用
•3 organometallic sources
•2 oxidant/reductant sources
•Built-in recipes, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO
