MiScan 高效混合直写光刻系统 MiScan 高效混合直写光刻系统 0.000 (CNY) 数量: 加入购物车 wishlist.addcustomwishlist 完成 加入收藏夹 商品比较 邮件给朋友 MiScan 高效混合直写光刻系统 技术特点 可选配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源寿命大于20000小时） 标准支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制 多维光刻(偏振曝光、干涉曝光、1024阶3D曝光) 高精密工件台 高精度环控系统 自动聚焦，实时对准 分区定位，多基片，多任务曝光 支持自动与手动对准 GDSII、BMP、STL等文件格式支持 规格参数 * 具体指标因工艺差异有所不同 应用示例
