MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
在线面扫和单点检测
MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。
在线面扫和单点检测
MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。
特性
允许单片调查
配方的基础测量
监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
优势
在µ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备，和各种工艺处理阶段。
小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。
技术参数
| 样品种类 |
多晶或单晶晶元片， 晶锭，晶胞 |
| 样品尺寸 |
大约50 x 50 mm² |
| 电阻率 |
0.2 - 10³ Ohm cm |
| 电导类型 |
p, n |
| 材质 |
硅晶圆，部分或完全加工晶圆，化合物半导体等 |
| 测量属性 |
载流子的少子寿命 |
| 硬件接口 |
ethernet |
| 大小 |
174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
| 电源 |
24 V DC, 2 A |
