iGrapher 大型紫外直写光刻系统 iGrapher 大型紫外直写光刻系统 电话报价 数量: 加入购物车 wishlist.addcustomwishlist 完成 加入收藏夹 商品比较 邮件给朋友 技术特点 采用DPSSL 355nm光源 支持8-130英寸幅面 超高精密系统 高精度环控系统 主动式隔振系统 高精度气浮运动平台 高速图形化 频闪平铺光斑曝光 3D导航自动聚焦 规格参数 应用示例