ANTARES—— 裂纹检测系统

提升您的生产效率微裂纹检测是晶圆、电池片及组件生产环节中的关键工序。全新 ANTARES 系统的推出,为单晶圆与单电池片的裂纹自动检测提供了一款可靠工具。该系统生成的裂纹图像质量不会受晶界或其他结构的干扰 —— 这类干扰在电致发光(EL)或光致发光(PL)成像中十分常见。
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ANTARES—— 裂纹检测系统

提升您的生产效率微裂纹检测是晶圆、电池片及组件生产环节中的关键工序。全新 ANTARES 系统的推出,为单晶圆与单电池片的裂纹自动检测提供了一款可靠工具。该系统生成的裂纹图像质量不会受晶界或其他结构的干扰 —— 这类干扰在电致发光(EL)或光致发光(PL)成像中十分常见。

性能参数

ANTARES 检测系统可对尺寸为 156×156 平方毫米的单晶、多晶晶圆及电池片进行检测,检测通量可达每小时 4000 片晶圆或 2400 片电池片。这一高效检测能力,可充分满足现代化生产线的需求。

该系统采用1450 纳米近红外激光与相机,实现非接触式检测,检测过程不受金属化层及天然晶粒结构的干扰。

晶圆检测核心参数

可检测裂纹与夹杂物

无因晶粒结构导致的伪缺陷

检测周期:0.9 秒

最大传送速度:500 毫米 / 秒

支持动态在线检测

定位精度:±5 毫米

非接触式对位

可生成缺陷密度分布图

配备免维护高功率近红外激光器

电池片检测核心参数

可检测裂纹与夹杂物

无因晶粒结构及金属化层导致的伪缺陷

检测周期:1.5 秒

最大传送速度(取决于电池片翘曲度):250 毫米 / 秒

支持动态在线检测

定位精度:±5 毫米

非接触式对位

可生成缺陷密度分布图

配备免维护高功率近红外激光器

更多选配方案

本检测系统可提供在线式机型(直接集成于现有传送带上方),同时另有多种机型可选,例如:适用于串焊机集成的机型、可自动剔除缺陷电池片的独立式系统,以及用于单片电池片检测的手动操作工作站。

术语说明

on-the-fly:工业检测领域专业表述,译为动态在线检测,指物料在传送过程中完成检测,无需停机

grain boundaries:光伏半导体领域术语,译为晶界,指晶体颗粒间的界面

metallization:译为金属化层,即光伏电池片表面的导电金属涂层

stringers:光伏设备专用词,译为串焊机,是将电池片焊接成串的核心设备

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