非接触式晶圆电阻率,厚度和P/N测量仪

非接触式晶圆电阻率,厚度和P/N测量仪 MX60x 系列用来测量硅片和其他材料的电阻率或表面电阻。
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非接触式晶圆电阻率,厚度和P/N测量仪

MX60x 系列用来测量硅片和其他材料的电阻率或表面电阻。

应用:

  • 晶圆生产
  • 回收
  • R&D
  • 在工艺控制方面
    • 厚度
    • TTV
    • 电阻率/表面电阻
    • RRV
    • 掺杂物


低电阻率:
计量器型号晶圆尺寸电阻率范围厚度范围
MX 604 / MX 604-Bsilicon blocks0.25 - 25 Ohm*cm 
MX 604-S2" - 8"0.1 - 50 Ohm/square200 - 900µm
MX 604-ST125x125, 156x156mm
2"-6"
0.06 - 30 Ohm*cm60 - 300µm
MX 6086", 8"0.001 - 200 Ohm*cm500 - 800µm
MX 608-q125x125, 156x156mm0.1 - 50 Ohm*cm150 - 350µm
MX 60128", 12"0.001 - 200 Ohm*cm600 - 900µm


高电阻率:
计量器型号晶圆尺寸电阻率范围厚度范围
MX 601up to 6"5E4 to 5E9 Ohm*cm350 - 650µm
MX 60102", 3", 4"2E5 to 2E9 Ohm*cm300 - 600µm

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