ISTEQ是一家创新的高科技公司，为全球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案。 这些应用主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。我们的主要重点是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备，适用于从X射线到红外线的光谱区域。
ISTEQ B.V.在开发和制造各种类型的产品方面拥有广泛的专业知识和专业知识。
主要产品：
等离子光源、X射线、EUV和 VUV计量设备、激光泵浦等离子体光源、TEUS EUV光源、显微镜设备、XUVVUV光谱仪、MCP-检测器、真空紫外光谱仪
主要型号：
XWS-65、EUV、VUV、TEUS EUV、LPP EUV、GIS、GISM、AGS、MCP
ISTEQ’s XWS-65 光源产品已经应用于各种应用，包括光谱学，高分辨率显微镜，薄膜测量，表面测量等。这款光源基于前沿的技术，已经在美国和欧盟注册了自有知识产权。
主要优点:
• 连续激光脉冲放电
• 宽光谱范围: 190 – 2500 nm
• 高光谱亮度: up to 50 mW/(mm2·sr·nm)
• 高时空稳定性: STD<0.15%
• 高使用寿命 (由于electrodeless operation):10000 小时
• 紧凑的体积扩展了光源的应用
• 通过软件扩展控制和监控参数，Windows界面
XWS-65 参数
光谱范围
190 -2500nm forUV configuration, 250-2500nm for OFR configuration
光谱亮度 Up to 50mW/(mm2·sr·nm)
输出功率 Up to 3 W free space Up to 0.5 W via fiber
灯介质 Xenon
发射体尺寸 250×500um
使用寿命 10,000 hours
时空稳定性 STD< 0.15%
应用领域:
• 吸收和荧光光谱学
• 微电子学中的诊断系统-污染和缺陷控制
• 表面测量，椭偏测量和散射测量
• 显微镜，包括共聚焦和荧光
• 光学组件检测
• 色谱检测器，微流体，晶圆实验室，液滴光谱仪，细胞荧光计等
